樹脂薄膜の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-127604
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323532
出願日： 1998年05月11日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】支持体の幅方向に均一な厚みを有する樹脂薄膜を形成することにより、製品歩留まりが少なく、工業的生産に適した樹脂薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】蒸発した樹脂材料を開口部より放出し、移動する支持体表面に付着させて支持体表面に連続的に樹脂薄膜を製造する方法において、樹脂材料の支持体表面への付着量が支持体の幅方向に均一となるようにする。具体的には、開口部の支持体移動方向の開口幅を変化させることにより、又は開口部と支持体表面との距離を変化させることにより、又は樹脂材料の放出量を支持体の幅方向で変化させることにより行う。

請求項（抜粋）：

蒸発した樹脂材料を開口部より放出し、移動する支持体表面に付着させて、支持体表面に連続的に樹脂薄膜を製造する方法において、前記開口部の支持体の移動方向の開口幅が、支持体の幅方向において一定でないことを特徴とする樹脂薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/24 , C23C 14/12

FI (2件)：

C23C 14/24 A , C23C 14/12

引用特許：

審査官引用 (12件)

巻き取り式成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-036526 出願人：株式会社リコー
真空蒸着装置及び真空蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-198290 出願人：神港精機株式会社
特開昭60-021379

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