特許
J-GLOBAL ID：200903040451390667

長尺基材の表面処理方法及びその方法により製造された光学フィルム

発明者：
村上 隆

村上 隆 について

, 
福田 和浩

福田 和浩 について


出願人/特許権者：
コニカ株式会社

コニカ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147732
公開番号（公開出願番号）：特開2002-339075
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、大気圧または大気圧近傍の圧力下での放電プラズマ処理により、長尺基材の表面に均一な薄膜を形成する方法及びそれにより製造された光学フィルムを提供することであり、又表示装置用の各種光学フィルムを提供することである。【解決手段】 長尺基材が対向する電極間に配置され、電極間に設けられた長尺基材の幅手方向に沿ってスリット状に配置されたガス導入口から大気圧又は大気圧近傍の圧力下で反応ガスを送り込みながら、前記電極間に高周波電圧を印加して放電させて、前記基材表面に薄膜を形成することを特徴とする長尺基材の表面処理方法。
請求項（抜粋）：
長尺基材が対向する電極間に配置され、電極間に設けられた長尺基材の幅手方向に沿ってスリット状に配置されたガス導入口から大気圧又は大気圧近傍の圧力下で反応ガスを送り込みながら、前記電極間に高周波電圧を印加して放電させて、基材表面に薄膜を形成することを特徴とする長尺基材の表面処理方法。
IPC (3件)：
C23C 16/54 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/24
FI (3件)：
C23C 16/54 ,  B01J 19/08 H ,  H05H 1/24
Fターム (27件)：
4G075AA24 ,  4G075BC01 ,  4G075BD01 ,  4G075CA15 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075CA51 ,  4G075CA63 ,  4G075DA02 ,  4G075DA12 ,  4G075EA02 ,  4G075EC21 ,  4G075ED04 ,  4G075ED06 ,  4G075ED09 ,  4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030BA18 ,  4K030BA29 ,  4K030BB12 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030JA06 ,  4K030JA18 ,  4K030LA18
引用特許：
審査官引用 (9件)
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