特許
J-GLOBAL ID：200903040507234671
フィルム状接着剤の破断装置及び破断方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邊 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-122868
公開番号（公開出願番号）：特開2009-272503
出願日： 2008年05月09日
公開日（公表日）： 2009年11月19日
要約：
【課題】フィルム状接着剤のはみ出し部が破断して生じた破片が、ウエハ表面に付着することを防止できるフィルム状接着剤の破断装置及び破断方法。【解決手段】環状フレーム12を保持するフレーム保持手段2と、保護テープ13を拡張する拡張手段3と、この拡張手段3とフレーム保持手段2の保持面とを相対的に位置づける進退手段4と、フィルム状接着剤10を冷却する冷却手段6とを備え、ウエハ11の裏面に貼付されたフィルム状接着剤10を、環状フレーム12の開口部12aに装着された保護テープ13に貼着された状態で破断する破断装置1に、少なくとも保護テープ13が拡張されているときに、ウエハ11に対してウエハ11の内側から外側へ流れるように空気を噴射するエアブロー手段5を設ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のデバイスがマトリクス状に形成されているウエハの裏面に貼付された前記ウエハよりも大径のフィルム状接着剤を、環状フレームの開口部に装着された伸縮性を有する保護テープ上に貼着した状態で、前記デバイスを区画するストリートに沿って破断する破断装置であって、
前記環状フレームを保持する保持面を備えたフレーム保持手段と、
前記保持面に保持された前記環状フレームに装着されている前記保護テープのウエハ貼付領域に作用して、該保護テープを拡張させる拡張手段と、
該拡張手段と前記保持面とを、相互に離隔した待機位置及び前記保護テープが拡張される拡張位置に、相対的に位置づける進退手段と、
少なくとも、前記保護テープが拡張されているときに、前記ウエハに対して該ウエハの内側から外側へ流れるように空気を噴射するエアブロー手段と、
少なくとも前記フィルム状接着剤を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とするフィルム状接着剤の破断装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/78 X
, H01L21/78 M
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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