特許
J-GLOBAL ID：200903040874173166
力学量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-220913
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040044
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 力学量の印加時に可動電極と固定電極との間隔変化に基づいて印加力学量を検出する力学量センサにおいて、大きな衝撃が印加されても、センサ出力に影響を与えない程度に可動部の自由振動時間を短くする。【解決手段】 櫛歯状の可動電極24を有する可動部20は、バネ部としての梁部22を介して基部11に連結支持され、Y軸方向へ変位可能となっている。可動電極24と検出間隔40を介して、櫛歯状の固定電極31、32が対向配置されている。ここで、可動部20のY軸方向への振動のQ値が、可動部20のY軸方向への振動における共振周波数の1/500倍よりも小さくなっており、センサ出力に影響を与えない程度に可動部20の自由振動の減衰を早めている。
請求項（抜粋）：
基部(11)と、この基部に連結され力学量の印加に応じて所定方向(Y)へ変位するバネ機能を有するバネ部(22)と、このバネ部に連結され前記バネ部とともに前記所定方向へ変位可能な可動部(20)と、この可動部に一体に形成された可動電極(24)と、前記基部に支持され前記可動電極と対向して配置された固定電極(31、32)とを備え、力学量の印加に応じて前記可動電極が変位したとき、前記可動電極と前記固定電極との間隔(40)の変化に基づいて印加力学量を検出する力学量センサにおいて、前記可動部の前記所定方向への振動のQ値が、前記可動部の前記所定方向への振動における共振周波数の1/500倍よりも小さくなっていることを特徴とする力学量センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01L 1/14
, H01L 29/84
, G01C 19/56
, G01P 9/04
G01P 15/125
, G01L 1/14 K
, H01L 29/84 Z
, G01C 19/56
, G01P 9/04
2F105AA10
, 2F105BB03
, 2F105BB04
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD13
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112DA04
, 4M112EA02
, 4M112EA06
