自己診断能力を備えた対称型プルーフ・マス加速度計とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-260135
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184609
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：

【要約】【目的】変移、速度、振動、加速度、角速度およびそれらの変化の測定に用いる自己診断能力を備えた対称型プルーフ・マス加速度計について、交差軸感度を低下させるだけでなく自己診断抵抗素子の装着を容易にする。【構成】カンチレバービーム2の面に対して位置をずらして同じ大きさのマス1a,1bを対称的に分布させ、抵抗体4および自己診断要素5を装着する平坦部をカンチレバービームの各々の端部9a,9bの対向面に確保する。また、カンチレバービーム2の各々の端部9a,9bをフィレット・ラウンディングに形成する。

請求項（抜粋）：

(a)カンチレバービーム、プルーフ・マス、該マスと支持プレイトとの間にダンピング制御ギャップ、および、ペースト溝を一体構造に形成し、(b)前記ダンピング制御ギャップの深さを調整してダンピングレベルを制御し、(c)前記ビームの両側に同じ面積で同じ質量の上部マスと下部マスを装着し、(d)前記ビームと前記支持プレイトとの間および前記上部マスと前記下部マスとの間の相対的な位置を制御し、(e)自己診断要素を装着する平坦面を形成し、(f)前記ビームの両側にフィレット・ラウンディングを形成して製造されたことを特徴とする、対称型プルーフ・マス加速度計。

IPC (3件)：

G01P 15/12 , G01P 21/00 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (8件)

構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-132690 出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
加速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-282229 出願人：三菱電機株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-228594 出願人：株式会社日立製作所

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