特許
J-GLOBAL ID：200903041047218865

サーモパイルアレイ温度検出器

発明者：
平尾 敏則

平尾 敏則 について

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田中 基樹

田中 基樹 について

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木村 親吾

木村 親吾 について


出願人/特許権者：
日本セラミック株式会社

日本セラミック株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-113721
公開番号（公開出願番号）：特開2007-285892
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】対象分割領域の赤外線量検出を行うインライン型サーモパイルアレイチップを搭載したサーモパイルアレイセンサは、赤外線受光部となる微少面積の吸収膜と前記吸収膜上温接点とメンブラン周囲ヒートシンク上冷接点とを二種の物質で構成された熱電対により一定方向側に規定本数配列される為、前記吸収膜の赤外線検出量に伴う熱変換起電圧が微少であり、検出域の赤外線変化に追従する測定性能並びに微量な赤外線量検出精度が乏しいという欠点を有していた。【解決手段】複数個の赤外線受光部を有する千鳥上2行配列されたサーモパイルアレイチップを形成し、四方向に熱電対本数を増設し赤外線検出時起電圧を増加させサーモパイル赤外線検出器として測定性能を向上させる構成を行う。また対象面に対して前記サーモパイルアレイ温度検出器を一軸方向へ走査駆動させる事により、測定対象全面の不感帯域を無くし赤外線検出精度の優れた温度計測機器を構築する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対象面の一軸方向領域を分割し各分割域の放射赤外線量をレンズを介して検出するサーモパイルアレイセンサにおいて、メンブレン上の吸収膜部に温接点を形成し、周囲ヒートシンク部上に冷接点を形成して、二種の物質で構成された熱電対で配列接合した複数個の赤外線検出域を、千鳥上に2行配列する事により熱電対数、温接点部、冷接点部の配置数を増加し、赤外線受光部となる各吸収膜からの赤外線検出時起電圧を増加させる事を特徴とするサーモパイルアレイ温度検出器。
IPC (3件)：
G01J 1/02 ,  G01J 5/08 ,  G01J 5/16
FI (5件)：
G01J1/02 Q ,  G01J1/02 C ,  G01J1/02 H ,  G01J5/08 Z ,  G01J5/16
Fターム (19件)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA33 ,  2G065BA34 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BB06 ,  2G065BB49 ,  2G065BC12 ,  2G065DA01 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA12 ,  2G066BA13 ,  2G066BA22 ,  2G066BA26 ,  2G066CA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)
  • 赤外線ラインセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-002328   出願人：日産自動車株式会社
  • 赤外線検出素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-268179   出願人：日産自動車株式会社
  • 赤外線検出器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287335   出願人：株式会社村田製作所

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