自動基板処理システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-550138
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516238
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
要約：

【要約】基板ハンドリング装置10は、基板支持体を有する移送アームを含む。この装置は、基板支持体で支持される基板11の画像を捕捉するように構成された少なくともひとつの画像捕捉センサを含む。加えて、この装置は画像捕捉センサに結合されて、基板支持体上に支持された基板の少なくともひとつの画像を捕捉するために画像捕捉センサを制御するように構成される制御装置を含む。コントローラ35は、更に、画像捕捉センサにより捕捉された画像を受取り、その捕捉画像に基づいて基板の初期位置を判定するように構成される。コントローラ35は、更に、基板支持体に結合されて、基板の初期位置に基づいて新しい位置まで基板を移動させるために、その動きを制御する。この装置は、基板IDを判定し、熱的処理チャンバ内での基板処理前後に特定の基板欠陥を検出するために使用されることもできる。移送アーム上へ基板を位置決めする方法も開示される。

請求項（抜粋）：

基板ハンドリング装置であって、基板支持体を含む移送アームと、前記基板支持体によって支持される基板の画像を捕捉するように構成される少なくともひとつの画像捕捉センサと、前記少なくともひとつの画像捕捉センサに結合され、前記少なくともひとつの画像捕捉センサを制御して、前記基板支持体に支持される前記基板の少なくともひとつの画像を捕捉するように構成されるコントローラとを備え、前記コントローラは更に、前記画像捕捉センサによって捕捉される前記少なくともひとつの画像を受け取るように構成され、そして前記少なくともひとつの捕捉画像に基づいて前記基板の初期位置を判定するように構成されており、前記コントローラは更に、前記基板支持体に結合されて、それらの動きを制御して、前記基板の初期位置に基づいて前記基板を新しい位置に移動させる、基板ハンドリング装置。

IPC (4件)：

B65G 49/06 , B25J 9/16 , H01L 21/02 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/06 Z , B25J 9/16 , H01L 21/02 Z , H01L 21/68 A , H01L 21/68 F

Fターム (34件)：

3C007AS03 , 3C007AS31 , 3C007BS23 , 3C007CT02 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007KS00 , 3C007KS04 , 3C007KS30 , 3C007KT01 , 3C007KT02 , 3C007KT04 , 3C007LT12 , 3C007NS12 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031GA02 , 5F031GA35 , 5F031GA44 , 5F031GA47 , 5F031JA04 , 5F031JA27 , 5F031JA36 , 5F031JA38 , 5F031JA51 , 5F031KA06 , 5F031KA08 , 5F031KA10 , 5F031MA21 , 5F031NA05 , 5F031PA02 , 5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (9件)

ウェーハの向き整合システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-151825 出願人：バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
自動搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-148228 出願人：株式会社ニコン
ハイブリッドIC検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-100025 出願人：石川県

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