真空排気システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347259
公開番号（公開出願番号）：特開平10-184576
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】反応性ガスを用いる薄膜加工プロセスに適用することにより、生成物の発生に対して高い信頼性を有する真空排気システムを提供する。【解決手段】粗引ポンプ1の排気側に、この粗引ポンプ1よりも排気量の小さなトラップユニット2を連結し、かつ反応性ガスが気体状態を保つように、温度・真空圧を設定する。

請求項（抜粋）：

反応性ガスを輸送する粗引ポンプの排気側に、この粗引ポンプよりも排気量の小さな排気ユニットを連結した真空排気システムにおいて、定常回転時上記粗引ポンプの排気側は、反応性ガスが気体状態を保つ条件下で、温度、真空圧が設定されていることを特徴とする真空排気システム。

IPC (3件)：

F04C 23/00 , F04C 25/02 , F04B 37/16

FI (3件)：

F04C 23/00 D , F04C 25/02 M , F04B 37/16 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

ターボ分子ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-320205 出願人：三菱重工業株式会社
真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-024776 出願人：国際電気株式会社
真空排気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-189972 出願人：松下電器産業株式会社

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