特許
J-GLOBAL ID:200903041326388258

脈理を有する材料の漏洩弾性表面波速度と化学組成比および線膨張係数との関係を求める方法、およびその関係を使ったTiO2-SiO2ガラスのTiO2濃度測定方法および線膨張係数測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 中尾 直樹 ,  中村 幸雄 ,  草野 卓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-263339
公開番号(公開出願番号):特開2007-078384
出願日: 2005年09月12日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】超音波材料特性解析装置によりTiO2-SiO2ガラスを評価するために必要となる漏洩弾性表面波速度と化学組成比や線膨張係数との間の正確な関係を求める方法を与える。【解決手段】脈理面に対して垂直な基板面を有する試料およびそれと隣接したCTE測定試料板を用意し、化学組成比やCTEを測定する領域と同じ領域を、LSAWの伝搬方向を脈理面に平行として、LSAW速度を測定する。同じ領域に対して化学組成比を測定する。またCTE測定試料板に対してCTEを測定する。これらのLSAW速度と化学組成比やCTEより、それらの間の正確な関係を得る。【選択図】図8
請求項(抜粋):
漏洩弾性表面波速度、以下LSAW速度と呼ぶ、と化学組成比および線膨張係数、以下CTEと呼ぶ、との間の関係を求める方法であり、 (a) 化学組成比の異なる少なくとも2つのガラスインゴットのそれぞれから、ガラスインゴットの脈理面に対して垂直な面で試料基板と、それに隣接してCTE測定試料板を切り出す工程と、 (b) 各上記試料基板に対して、上記脈理面と平行な方向に伝搬するLSAW速度の測定値を得る工程と、 (c) 各上記試料基板及びCTE測定試料板の一方の化学組成比を測定する工程と、 (d) 各上記CTE測定試料板のCTEを測定する工程と、 (e) 測定した上記LSAW速度と上記化学組成比および上記CTEからLSAW速度の変化量に対する化学組成比の変化量およびCTEの変化量の関係を決定する工程、 とを含むことを特徴とするLSAW速度と化学組成比およびCTEとの間の関係を求める方法。
IPC (3件):
G01N 29/00 ,  G01N 23/223 ,  G01N 29/06
FI (3件):
G01N29/18 ,  G01N23/223 ,  G01N29/20 501
Fターム (23件):
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001KA01 ,  2G001LA06 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  2G047AA09 ,  2G047BA03 ,  2G047BB05 ,  2G047BC02 ,  2G047BC03 ,  2G047BC15 ,  2G047BC20 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047EA10 ,  2G047FA01 ,  2G047GA18 ,  2G047GG20 ,  2G047GG33 ,  2G047GG37 ,  2G047GG46
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献:
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