特許
J-GLOBAL ID：200903041516317004
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 誠志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-083158
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266771
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 複数ガスの高速検出が可能なガスセンサを提供する。【解決手段】 半導体レーザ22と、半導体レーザ22を外部共振モードで発振させるための回折格子23、MEMSスキャナ30を含み、半導体レーザ22の端面22bに直交する方向に出射される光Wの波長を、MEMSスキャナ30の駆動により検出対象ガス固有の吸収スペクトル波長を含む波長範囲で掃引し、その波長掃引された光Wを検出対象ガス雰囲気に入射する外部共振型の波長掃引光源21と、検出対象ガス雰囲気を透過した光W′を受けてその光強度を検出する受光素子70とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源(22、22′)、回折格子(23)およびMEMSスキャナ(30)を含み、特定方向に出射される光の波長を、前記MEMSスキャナの駆動により検出対象ガス固有の吸収スペクトル波長を含む波長範囲で掃引し、該波長掃引された光を検出対象ガス雰囲気に入射する波長掃引光源(21)と、
前記検出対象ガス雰囲気を透過した光を受けてその光強度を検出する受光素子(70)とを備えたガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC04
, 2G059CC05
, 2G059CC13
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF10
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059HH08
, 2G059JJ05
, 2G059JJ15
, 2G059MM10
出願人引用 (1件)
-
光式ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-306565
出願人：日立電線株式会社
審査官引用 (7件)
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