特許
J-GLOBAL ID：200903067247759223

立体構造を持った微小光学系の製造方法とこれを実施した微小光学システム

発明者：
佐々木 実

佐々木 実 について

, 
羽根一博

羽根一博 について


出願人/特許権者：
佐々木 実

佐々木 実 について

, 
羽根 一博

羽根 一博 について


代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-105202
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295069
出願日： 2002年04月08日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 光デバイスに特有な3次元的な深い構造と、種々のバルクデバイス素子のアセンブルし易さを両立する技術的な解決法が従来は無かった。このため、フリップチップボンディングの様にデバイス素子を基板に密着する形で配置する構成で、光が通るべき光路を確保し3次元的に素子をプリアライメントして配置できる製作技術の実現が求められている。【解決手段】 本発明は、シリコンウェーハ等の平面基板上にフォトリソグラフィ技術を用いて製作配置した素子を、基板ごと折り曲げることによって平面的な配置から立体的な配置を作り出し、自由空間型の微小光学系を構成する方法を実現することにより、問題を解決したものである。
請求項（抜粋）：
シリコンウェーハ等の平面基板上に直線状の柔らかな折り曲げ位置と複数のデバイス素子を製作した後、平面基板を折り曲げ位置で折り曲げることによって、デバイス素子を平面的な配置から立体的な配置に置き換えることにより自由空間型の立体構造を持った光学系を製造する微小光学系の製造方法。
IPC (5件)：
G02B 26/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104 ,  H01L 27/15
FI (5件)：
G02B 26/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 26/08 E ,  G02B 26/10 104 Z ,  H01L 27/15 H
Fターム (10件)：
2H041AA05 ,  2H041AA21 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AC06 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB73 ,  2H045DA31
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (14件)
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