特許
J-GLOBAL ID：200903055947545455

ガス分析装置

発明者：
酒井 正彦

酒井 正彦 について


出願人/特許権者：
株式会社小野測器

株式会社小野測器 について


代理人 (1件)： 山田 正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-372341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193645
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 動作の安定した高精度のガス分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体レーザ11と、内部に所定の気体G1が封入され半導体レーザ11から出射したレーザ光11aが通過する光音響セル12と、光音響セル12内部の音圧をピックアップするマイクロフォン13と、マイクロフォン13でピックアップされた音圧をモニタしながら、半導体レーザ11から出射されるレーザ光の波長を、光音響セル12中の気体G1による吸収線の波長を中心として周期的に変化させる波長制御部14と、光音響セル12を通過しさらに被測定用気体G2雰囲気を経由したレーザ光を受光する受光素子15と、受光素子15の出力に基づいて被測定用気体G2の量あるいは濃度を求める演算部16とを備えた。
請求項（抜粋）：
波長可変な光を出射する光源と、内部に所定の気体が封入され前記光源から出射した光が通過する光音響セルと、前記光音響セル内部の音圧をピックアップするマイクロフォンと、前記マイクロフォンでピックアップされた音圧をモニタしながら、前記光源から出射される光の波長を、前記光音響セル中の気体による吸収線の波長を中心として周期的に変化させる波長制御部と、前記光音響セルを通過しさらに被測定用気体雰囲気を経由した光を受光する受光素子と、前記受光素子の出力に基づいて被測定用気体の量あるいは濃度を求める演算部とを備えたことを特徴とするガス分析装置。
IPC (4件)：
G01N 29/00 501 ,  G01J 3/433 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/39
FI (4件)：
G01N 29/00 501 ,  G01J 3/433 ,  G01N 21/00 A ,  G01N 21/39
Fターム (24件)：
2G020BA02 ,  2G020BA12 ,  2G020CA02 ,  2G020CB04 ,  2G020CB14 ,  2G020CB23 ,  2G020CB53 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD22 ,  2G047CA04 ,  2G047EA10 ,  2G047GD02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC09 ,  2G059EE01 ,  2G059EE16 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM14 ,  2G059PP01
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (10件)
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