特許
J-GLOBAL ID：200903041970933364

位置合わせ方法

発明者：
小林 重夫

小林 重夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273355
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097342
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 効率の良い位置合わせ方法を提供する。【解決手段】 所定の基板を保持しながら回転方向および高さ方向に基板を駆動するθΖステージと、前記基板を保持しながら所定の直交座標系内で2次元移動する基板ステージと、前記直交座標系内に検出中心を有し前記基板に設けられているアライメントマークを検出する位置検出手段と、前記直交座標系内で前記位置検出手段とは異なる位置に検出中心を有し前記基板表面の高さを検出するフォーカス計測手段とを有する位置合わせ装置に適用される位置合わせ方法おいて、所定の配列座標系に従って2次元に配列された複数のショット領域有し該複数のショット領域のそれぞれのショットにアライメント用のマークを有する基板を位置合わせする工程内で、前記アライメントマーク検出時の前記基板表面の高さを位置決めする際に、複数のアライメントショットのうちの1ショットのアライメントマーク高さを前記フォーカス計測手段で検出し、他ショットのアライメントマークの高さは該検出した1ショットのアライメントマークの高さと予め求められた前記基板の傾きから算出する。
請求項（抜粋）：
所定の基板を保持しながら回転方向および高さ方向に基板を駆動するθΖステージと、前記基板を保持しながら所定の直交座標系内で2次元移動する基板ステージと、前記直交座標系内に検出中心を有し前記基板に設けられているアライメントマークを検出する位置検出手段と、前記直交座標系内で前記位置検出手段とは異なる位置に検出中心を有し前記基板表面の高さを検出するフォーカス計測手段とを有する位置合わせ装置に適用される位置合わせ方法おいて、所定の配列座標系に従って2次元に配列された複数のショット領域有し該複数のショット領域のそれぞれのショットにアライメント用のマークを有する基板を位置合わせする工程内で、前記アライメントマーク検出時の前記基板表面の高さを位置決めする際に、複数のアライメントショットのうちの1ショットのアライメントマーク高さを前記フォーカス計測手段で検出し、他ショットのアライメントマークの高さは該検出した1ショットのアライメントマークの高さと予め求められた前記基板の傾きから算出することを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L 21/30 520 A ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/68 F
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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