特許
J-GLOBAL ID：200903076287434806

エネルギー分散型X線検出器および試料分析装置

発明者：
宮 澤 聡

宮 澤 聡 について

, 
岩 澤 頼 信

岩 澤 頼 信 について


出願人/特許権者：
日本電子エンジニアリング株式会社

日本電子エンジニアリング株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-056833
公開番号（公開出願番号）：特開2006-242663
出願日： 2005年03月02日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 X線検出素子を大気に晒すことなく冷凍機を交換することができるエネルギー分散型X線検出器を提供する。【解決手段】 冷凍機31を交換するとき、作業者はボルト28を外して、開閉蓋26を真空容器7から取り外す。次に作業者は、低温端35を低温端固定部17aに固定しているボルト36を外す。そして作業者は、ボルト34を外して、冷凍機31をフランジ13から取り外す。このとき、真空室42は真空ベローズ(16,18)により冷凍機室(19,20)から真空的に分離されているため、X線検出素子40のまわりの雰囲気は大気に開放されることなく高真空に維持される。次に作業者は、新しい冷凍機をフランジ13に固定する。そして作業者は、その新しい冷凍機の低温端を低温端固定部17aにボルト36で固定してから、開閉蓋26を真空容器7にボルト28で固定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空室を形成する真空容器と、 一端部が前記真空室内に位置し、他端部が前記真空室外に位置するように、前記真空室の側壁に取り付けられた伝熱部材と、 前記真空室に配置され、前記伝熱部材の一端部に取り付けられたX線検出器と、 前記伝熱部材の他端部に着脱可能に取り付けられた冷凍機 を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。
IPC (1件)：
G01T 1/24
FI (1件)：
G01T1/24
Fターム (10件)：
2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088FF03 ,  2G088GG23 ,  2G088GG27 ,  2G088JJ08 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ36 ,  2G088JJ37
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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