特許
J-GLOBAL ID：200903042430245171

基板搬送装置、塗布装置、基板搬送方法および塗布方法

発明者：
上野 幸一

上野 幸一 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-054913
公開番号（公開出願番号）：特開2009-078260
出願日： 2008年03月05日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：
【課題】基板の搬送にかかる時間を短縮し、基板処理のスループットを向上させる技術を提供する。【解決手段】塗布装置1は、基板90を搬送する基板搬送装置2、基板90を下方から支持するステージ3、ノズル40から所定の液を吐出して基板90に塗布する塗布部4、塗布部走行支持部5、および各部の制御を行う制御部8を備える。基板搬送装置2は、上端の支持部221が回転可能な搬送補助ローラ22、ステージ3に設置され基板90を水平搬送する水平搬送ローラ23および基板90のX軸方向に関する位置決めを行うアライメント部24とを備える。気体供給部33によりステージ3の上面から上方に向けて気体が供給することによって、ステージ3上に搬送される基板90に対して、気体を媒介して浮上力が付与される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下方から基板を支持するステージに対して基板を搬送する基板搬送装置であって、 前記ステージの上方にある基板に対して、気体を媒介して浮上力を付与する浮上力付与手段と、 前記浮上力付与手段により基板に付与される浮上力を制御することにより、基板を前記ステージの上面から上方に離間した離間位置と前記ステージの上面に当接する上面位置との間で昇降させる浮上力制御手段と、 基板を前記離間位置と前記ステージの上方から外れた外方位置との間で移動させる搬送手段と、 を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B05C 13/02 ,  B05C 5/00 ,  B05D 3/00
FI (3件)：
B05C13/02 ,  B05C5/00 101 ,  B05D3/00 C
Fターム (13件)：
4D075AC73 ,  4D075AC78 ,  4D075AC88 ,  4D075AC95 ,  4D075DA06 ,  4D075DC24 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F042AA06 ,  4F042BA08 ,  4F042BA11 ,  4F042DF10 ,  4F042DF15
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • テーブル式塗装設備
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-351121   出願人：中外炉工業株式会社
審査官引用 (5件)
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