特許
J-GLOBAL ID：200903021439673373
塗布装置及び塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-095528
公開番号（公開出願番号）：特開2004-298775
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】基板の大型化に対応し,かつ基板の入れ換え時間を短縮できる,塗布液吐出用ダイヘッドを用いた塗布装置を提供する。【解決手段】基板搬送用コンベヤAの搬送経路B上に載置台3を配置し,当該載置台3の上方に基板Gの搬送方向に対して直交する方向に向けてレール20を形成する。レール20には,ダイヘッド23が長手方向を搬送方向に向けた状態で移動自在に支持される。レール20の支持部材21は,搬送経路Bの幅方向の外方に配置される。塗布装置1には,塗布装置1の外部から塗布装置1内に向かう搬送通路が確保され,基板搬送用コンベヤAを用いて塗布装置1内に基板Gを搬送できる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
細長形状の本体を有し,当該本体の下面にスリット状の吐出口を備えた塗布液吐出用ダイヘッドを用いて,基板に塗布液を塗布する塗布装置であって,
基板搬送用コンベヤの搬送経路上に配置され,当該搬送経路上の基板を載置する載置台と,
前記塗布液吐出用ダイヘッドを移動させるためのレールと,を備え,
前記塗布液吐出用ダイヘッドは,前記本体の長手方向を搬送経路の搬送方向に向けた状態で,前記レールに沿って前記載置台上を前記搬送方向に直交する直交方向に移動可能であり,
前記レールは,前記搬送経路上で搬送される基板と干渉しない位置に設けられていることを特徴とする,塗布装置。
IPC (4件)：
B05C5/02
, B05C11/00
, B05C13/02
, G02B5/20
B05C5/02
, B05C11/00
, B05C13/02
, G02B5/20 101
2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041BA21
, 4F042BA08
, 4F042DF11
, 4F042DF16
