特許
J-GLOBAL ID：200903089163640143

静電チャックステージ

発明者：
池田 剛敏

池田 剛敏 について

, 
塚崎 尚

塚崎 尚 について

, 
土橋 祐亮

土橋 祐亮 について

, 
花崎 稔

花崎 稔 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034877
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233605
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 残留吸着力が小さく、安定したウエハ離脱ができ、耐電圧特性のよい静電チャックステージを得る。【解決手段】 電極を円盤状の内電極16とリング状の外電極17とで構成する。両電極16、17間の側面には絶縁体膜20を形成しその間の空隙18にリフトピン14を通す。両電極16、17に分かれているので側面への絶縁体膜20の形成が容易であり信頼性の高い絶縁が得られる。また電極表面の誘電体膜19の抵抗率を1011〜1012Ωcmまたは1017Ωcm以上にすることにより残留吸着力が小さくなる。さらにリフトピン14の位置を適切に選ぶことによりウエハの片上がり、跳び上がりを防止する。
請求項（抜粋）：
金属製の電極の表面を静電体膜で覆って構成し、静電力でウエハを吸着する静電チャックを備えた静電チャックステージにおいて、上記誘電体膜の使用温度における抵抗率を1011から1012Ωcmまたは1017Ωcm以上にしたことを特徴とする静電チャックステージ。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D
引用特許：
審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM