特許
J-GLOBAL ID：200903042852668920
角速度検出装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-307631
公開番号（公開出願番号）：特開2006-119001
出願日： 2004年10月22日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】角速度検出装置の振動系の振動に節に一端を固定した弾性体を接続することで、外乱による影響を低減し、想定外の振動モードの発生を抑制することを可能とする。【解決手段】第1基板100の表面に設けられた支持部103-1〜6に一方端が接続された支持弾性体102-1〜6によって、第1基板100に対して変位可能な浮遊状態に支持された第1,第2振動子101-1,2を備えた角速度検出装置1において、第1,第2振動子101-1,2および支持弾性体102-1〜6とからなる振動系の少なくとも一つの振動の節となる位置に一方端が接続され、かつ第1基板100の表面に設けられた弾性体支持部142-1,2に他方端が支持された弾性体141-1,2を備えたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板の表面に設けられた支持部と、
前記支持部に一方端が接続された支持弾性体と、
前記基板表面からある一定の間隔を有して浮遊した状態で前記支持弾性体の他方端に支持されたもので前記基板に対して変位可能な複数の振動子とを備えた角速度検出装置において、
前記複数の振動子および前記支持弾性体とからなる振動系の少なくとも一つの振動の節となる位置に一方端が接続され、かつ前記基板の表面に設けられた弾性体支持部に他方端が支持された弾性体
を備えたことを特徴とする角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F105BB03
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD07
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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