特許
J-GLOBAL ID：200903064040427604

微細組立式音叉ジャイロスコープおよび面外回転を検知するための関連する3軸慣性測定システム

発明者：
ワインバーグ,マーク,エス.

ワインバーグ,マーク,エス. について

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バーンステイン,ジョナサン,ジェイ.

バーンステイン,ジョナサン,ジェイ. について

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キルコス,グレゴリー.エー.

キルコス,グレゴリー.エー. について

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リー,トミー,ダブリュー.

リー,トミー,ダブリュー. について

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ペトロビッチ,アンソニー

ペトロビッチ,アンソニー について


出願人/特許権者：
ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド

ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-525413
公開番号（公開出願番号）：特表2003-510573
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：
【要約】微細機械式音叉ジャイロスコープは、構造の面外にある入力軸(38)と、支持構造(16)によって基板(22)から懸架された一対の、開口が設けられた平坦な、校正質量(10)下方の並列容量ストライプ(42,43)とを備える。校正質量は、静電櫛形ドライブ(12,14)による反対方向の振動運動中に置かれる。これにより、入力角速度に応答して、校正質量(10)は、ストライプ状の容量(42,43)に関して並進し、これによりストライプと校正質量間の容量を入力速度の関数として変化させる。
請求項（抜粋）：
微細組立式音叉構造であって、 主平面を規定する基板と、 この基板によって支持された第1および第2の校正質量とを備え、 前記校正質量は、前記主平面に平行な第1の軸に沿った前記校正質量の反対方向への被駆動振動を許容し、且つ前記主平面に平行で前記第1の軸とは異なる向きの第2の軸に沿った前記校正質量の並進を許容する形態で支持されており、前記並進は、前記校正質量が前記第1の軸に沿って振動するように駆動される時に、前記主平面からの軸に関する角入力に応答して起こるものであり、 前記微細組立式音叉構造は、前記校正質量と電気的に通信して、前記校正質量を前記第1の軸に沿って振動させる一方で、前記第2の軸に沿った運動を許容する駆動構造と、 前記基板によって支持された検知電極とを更に備え、 前記検知電極は、前記校正質量と関係して共動するように構成され、前記第2の軸に沿った前記校正質量の軸運動に伴って変化するそれぞれの容量を確立するものであり、前記検知電極と前記校正質量は更に、前記第2の軸に沿った前記校正質量の差分軸運動に応答して、前記容量の差分変化の検出を可能とするように構成されていることを特徴とする微細組立式音叉構造。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (16件)：
2F105BB02 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA04 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (10件)
  • 共振型角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334337   出願人：株式会社豊田中央研究所
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306238   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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審査官引用 (10件)
  • 共振型角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-334337   出願人：株式会社豊田中央研究所
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
  • 回転角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306238   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
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