特許
J-GLOBAL ID：200903043396165593

圧電素子、振動型ジャイロセンサ、電子機器及び圧電素子の製造方法

発明者：
鈴木 浩二

鈴木 浩二 について

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稲熊 輝往

稲熊 輝往 について

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高橋 和夫

高橋 和夫 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-345357
公開番号（公開出願番号）：特開2008-157701
出願日： 2006年12月22日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】駆動リード電極から、少なくとも2つの検出リード電極へのリーク電流の差を極力抑えることができる圧電素子、振動型ジャイロセンサ、電子機器及び圧電素子の製造方法を提供すること。【解決手段】圧電素子100は、第1の検出電極6bに接続された第1のリード電極55と、第2の検出電極6cに接続された第2のリード電極65と、駆動電極6aに接続された第3のリード電極75と、基準電極104a(図3参照)に接続された基準リード電極85とを備える。第1のリード電極55の面積(第1のリード線51及び第1のパッド52を合わせた面積)、第2のリード電極65の面積(第2のリード線61及び第2のパッド62を合わせた面積)とが、実質的に同じに形成されている。【選択図】図46
請求項（抜粋）：
アーム部を有する基板と、 前記基板上に設けられた圧電材と、 前記圧電材の圧電作用により前記アーム部を振動させる駆動電極と、 第1の検出電極と第2の検出電極とを有し、振動する前記アーム部に発生するコリオリ力を検出する検出電極と、 第1の面積を有し、前記基板上に設けられて前記第1の検出電極に接続され、前記第1の検出電極を外部接続する第1のリード電極と、 前記第1の面積と実質的に同じ第2の面積を有し、前記アーム部の長手方向の軸に対して前記第1のリード電極とは非対称形状に前記基板上に設けられて前記第2の検出電極に接続され、前記第2の検出電極を外部接続する第2のリード電極と、 前記駆動電極を外部接続する第3のリード電極と を具備することを特徴とする圧電素子。
IPC (6件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
Fターム (9件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB08 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-354304   出願人：松下電器産業株式会社
審査官引用 (6件)
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