ウエハの処理方法及びウエハキャリアケ-ス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208600
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】キャリアに収納されたウエハを治具で取り出すときに、治具が隣り合うウエハに接触してウエハに異物が付着したり、傷がついたりすることがある。【解決手段】ウエハキャリアケース1の底部に、ウエハの周縁部が当接する傾きを持った台座4を設けることによって、ウエハを収納したキャリアをウエハキャリアケース1に入れたときに隣り合うウエハの上端部に高低差を生じさせるようにした。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納したキャリアを、傾きを持った台座を底部に設置したキャリアケースに入れることによって、ウエハを段状に整列させ、隣り合うウエハの上端部に生じた高低差を利用して治具によりウエハを取り出し、取り出したウエハを所定の処理工程に搬送して処理することを特徴とするウエハの処理方法。

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA20 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA18 , 5F031GA08

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-256144
ウエハ符号読取用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-216942 出願人：川崎製鉄株式会社
ウェハ移し替え装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-150374 出願人：株式会社日立製作所, 日立那珂エレクトロニクス株式会社

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