特許
J-GLOBAL ID：200903043620928050

表面検査装置

発明者：
粉川 良平

粉川 良平 について

, 
臼田 宏治

臼田 宏治 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について

, 
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344127
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171471
出願日： 1998年12月03日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：
【要約】【課題】 生産ラインで生産される全ての試料について、生産ライン上で(インラインで)自動検査する。【解決手段】 試料Sの微少領域の表面状態を観察するセンサ21を複数有し、これらの複数のセンサ21を選択的に動作可能とする検出手段2と、試料を横断する部材であって、試料との相対的位置が変更可能であり、この部材の長手方向においてセンサを位置決め可能に支持する支持部3とを備えた構成とし、試料Sと支持部3との相対的移動、支持部3に対するセンサ21の位置決め、及び動作させセンサの選択によって、試料表面上の多数の定点観察を行う。所定個数のセンサの位置及び動作を有機的に制御することによって、試料全面の走査に代えて試料表面における定点観察を多点で行い、生産ライン上での検査を可能とし測定時間を短縮して、生産ラインで生産される全ての試料を生産ライン上での自動検査を行う。
請求項（抜粋）：
試料の微少領域の表面状態を観察するセンサを複数有し、該複数のセンサを選択的に動作可能とする検出手段と、試料を横断する部材であって、試料との相対的位置が変更可能であり、該部材の長手方向においてセンサを位置決め可能に支持する支持部とを備え、試料と支持部との相対的移動、支持部に対するセンサの位置決め、及び動作させるセンサの選択によって、試料表面上の多数の定点観察を行う表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01N 13/16 ,  G01B 21/20
FI (3件)：
G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 F ,  G01B 21/20 Z
Fターム (25件)：
2F069AA46 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB13 ,  2F069BB15 ,  2F069BB17 ,  2F069CC06 ,  2F069DD09 ,  2F069DD15 ,  2F069DD16 ,  2F069DD30 ,  2F069GG06 ,  2F069GG12 ,  2F069GG65 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ13 ,  2F069JJ22 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32 ,  2F069PP01 ,  2F069PP06 ,  2F069QQ05
引用特許：
審査官引用 (12件)
  • インサーキットテスタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-059080   出願人：株式会社日立製作所
  • 走査型プローブ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-075569   出願人：株式会社島津製作所
  • 走査型探針装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-334131   出願人：日立電線株式会社
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