特許
J-GLOBAL ID：200903043622192272
基板停止位置制御方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 脩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-013994
公開番号（公開出願番号）：特開2004-228326
出願日： 2003年01月22日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】基板搬送装置において、基板を基板形状に拘わりなく各基板の種類に固有の目標位置に簡単な構成で容易に正確に停止する。【解決手段】搬送経路の基準位置に基板が搬入されたことを基板センサが検出した後、この基板の種類に応じた固有移動距離だけ基板をさらに搬送して目標位置に停止する。目標位置に停止された基板の基準マークを基板カメラで読取って目標位置に対する基板停止位置のズレ量を求める。これにより、基板を基板形状に拘わりなく各基板の種類に固有の目標位置に簡単な構成で停止し、設定位置に対する基板停止位置のズレ量を容易に検出して補正することができる。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
基板を搬送経路での目標位置に搬送する基板搬送装置において、前記基板が前記搬送経路の基準位置に搬入されたことを基板センサが検出した後、この搬入された基板の種類に応じた固有移動距離だけ前記基板を前記基準位置からさらに搬送して前記目標位置に停止し、この目標位置に停止された前記基板の基準マークを基板カメラで読取って前記目標位置に対する基板停止位置の位置ズレ量を求めることを特徴とする基板停止位置制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05K13/02 U
, H05K13/04 P
5E313AA03
, 5E313AA11
, 5E313AA18
, 5E313CC03
, 5E313CC09
, 5E313DD02
, 5E313DD03
, 5E313DD05
, 5E313DD12
, 5E313DD50
, 5E313EE02
, 5E313EE03
, 5E313EE05
, 5E313EE24
, 5E313EE25
, 5E313FF13
, 5E313FF24
, 5E313FF28
, 5E313FF32
