表示パネルの製造方法及び製造装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-121918
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318545
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】表示パネルを薄型化する為の化学エッチングを実施する設備と同じ設備内で付着物質を洗浄除去し、搬送キャリアや他の製造工程の設備などに対する汚染を防ぐ。【解決手段】表示パネルの製造装置は、所定の肉厚を有する基板を用いて表示パネル1を作り込んだ後、基板の表面を一定量除去して肉厚を薄くする為に、表示パネル1を薬液に浸漬し、化学反応により基板の表面を一定量除去して肉厚を薄くする化学処理部CEと、化学反応により生じた付着物質を表示パネル1から除去する付着物質除去部PRと、化学処理部CE及び付着物質除去部PRとを外部から隔離して作業空間内に収納するハウジング0と、作業空間内で表示パネル1を化学処理部CEから付着物質除去部PRに移送する搬送部9とからなる。

請求項（抜粋）：

所定の肉厚を有する基板を用いて表示パネルを作り込むパネル作成工程と、外部から隔離された作業空間内で該表示パネルを薬液に浸漬し、化学反応により該基板の表面を一定量除去して肉厚を薄くする化学処理工程と、該作業空間内で、化学反応により生じた付着物質を該表示パネルから除去する付着物質除去工程とを行なう表示パネルの製造方法。

IPC (7件)：

G09F 9/00 338 , G02F 1/13 101 , H05B 33/02 , H05B 33/10 , H05B 33/14 , C03C 15/00 , C03C 23/00

FI (7件)：

G09F 9/00 338 , G02F 1/13 101 , H05B 33/02 , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , C03C 15/00 C , C03C 23/00 A

Fターム (24件)：

2H088FA17 , 2H088FA18 , 2H088FA21 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 3K007AB18 , 3K007CA01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA00 , 4G059AA08 , 4G059AB09 , 4G059AB11 , 4G059AB19 , 4G059AC30 , 4G059BB04 , 4G059BB11 , 5G435AA17 , 5G435AA18 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (7件)

薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ用ガラスの自動エッチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-327463 出願人：システムテクノロジーインコーポレイティッド
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-048822 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-260565 出願人：シャープ株式会社

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