特許
J-GLOBAL ID：200903043639874130

保持装置、光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131605
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 被保持部材の位置決めを、容易にかつ精度よく行うことができる保持装置、光学素子保持装置及び鏡筒を提供する。また、露光精度の向上可能な露光装置及びマイクロデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】 光学素子38をレンズ枠体42に保持し、そのレンズ枠体42を枠体40上に等角度間隔で3ヶ所配置されたフレクシャ部材41を介して支持する。このフレクシャ部材41のフレクシャ本体84において、前記レンズ枠体42に接続される接続ブロック84aと、前記枠体40に固定されるフレクシャ固定部91とを、光学素子38の略中心を原点とした極座標系内でその光学素子38の径方向のR、周方向のθ、光軸方向のZの各軸に沿った移動と各軸周りの回転との6つの運動自由度が確保されるように、いわゆるキネマティックに接続する。
請求項（抜粋）：
被保持部材を保持する保持部を備える保持装置において、前記保持部は、前記被保持部材の略中心を原点とした互いに交差する3つの座標軸に沿う3つの移動と、前記3つの座標軸のうち少なくとも2つの座標軸周りに回転する2つの回転とを前記被保持部材に与える駆動機構とを有することを特徴とする保持装置。
IPC (4件)：
G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G02B 7/02 C ,  G02B 7/02 B ,  G02B 7/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (14件)：
2H044AB06 ,  2H044AB07 ,  2H044AB10 ,  2H044AB18 ,  2H044AB20 ,  2H044AB25 ,  2H044AC01 ,  2H044AC04 ,  2H044AJ04 ,  2H044AJ06 ,  2H044AJ07 ,  5F046CB20 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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