特許
J-GLOBAL ID：200903043693583221

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
安武 正敏

安武 正敏 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328372
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141446
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ボイスコイル部の発熱によるSPM装置筐体の熱膨張を抑制し、SPMの測定画像の精度の低下を防止する。【解決手段】 カンチレバー上にある探針を試料面に沿って走査を行う磁気ドライブスキャナを有する走査形プローブ顕微鏡において、前記磁気ドライブスキャナのボイスコイル部を筺体より断熱的あるいは熱的な統合をできるだけ低くなるように取付けるため、ボイスコル部に放熱機構を設け、また筺体への熱の流入を抑制するため、前記ボイスコル部と筺体との間に、熱伝導率が低く、両者間の接触面積を小さくしたスペーサを介して前記ボイスコイル部を前記筺体に固体する構造とした。
請求項（抜粋）：
カンチレバー上にある探針を試料面に沿ってメカ的に走査を行なう磁気ドライブスキャナーを有する走査型プローブ顕微鏡において、前記磁気ドライブスキャナーのボイスコイル部(図2:21、23、25、28、29)を筐体より断熱的あるいは熱的な結合をできるだけ低くなるように取りつけ、前記ボイスコイル部より放熱させる機構を設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G12B 21/24
FI (3件)：
G01B 21/30 Z ,  G01N 13/10 Z ,  G12B 1/00 601 J
Fターム (10件)：
2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069CC06 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069RR09
引用特許：
審査官引用 (7件)
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