特許
J-GLOBAL ID：200903076752458695
プローブ走査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019473
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221348
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 操作性が良好で、かつ試料の検出画像に歪みが生じないプローブ走査装置を提供することにある。【解決手段】 スピンドル27はボイスコイルモータの可動子23から動力を受けて、細管部14、太管部15等からなるスキャナ部をx,y方向に走査する。機械式ズームスイッチ52はその内部に低融点金属を具備しており、固化している時にはズーム用ばね51をスピンドル27に連結する。このため、ズーム用ばね51のばね定数が細管部14のばね定数に付加されて、ズーム作用が発生する。一方、加熱コイルからスイッチ52に熱が加えられると、前記低融点金属は軟化しズーム用ばね51はスピンドル27から切り離される。スイッチ52に低融点金属を使用しているため、スイッチ52の切替えを素早く行うことができ、ズーム機構の操作性が良好になる。
請求項（抜粋）：
少なくとも、x,y方向に配置されたボイスコイルモータからの動力を、スピンドルを介してスキャナ部に伝達する構成を有するプローブ走査装置において、前記スピンドルに弾性部材を選択的に連結する低融点金属を用いたスイッチ手段を具備し、 該スイッチ手段により、前記スピンドルに弾性部材を連結することによりズーミングさせるようにしたことを特徴とするプローブ走査装置。
引用特許：
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