欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-020789
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076377
出願日： 2007年01月31日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】多大な開発費、開発期間を必要とせず、歩留まりを低下させることなく高速な検出器を提供し、欠陥検査装置の検査速度を向上させる。【解決手段】検出器12は複数のイメージセンサ100を備え、画素方向に間隔を空けて複数個配列されたイメージンセンサ100が2列配置され、各イメージンセンサ100はスキャン方向では互い隣接しないように配置され、千鳥配置されている。画素数が多い大面積のイメージセンサの製作には多大な開発費等が必要であり、画素欠陥発生頻度が多くなる。本発明は、小面積のイメージンセンサ100を複数配置している。一個のイメージンセンサ100を取り付ける場合、取り付けに要する領域が必要であり、個々のイメージセンサ100同士では、互いに一定距離を空けて配置しなければならず、空白領域ができてしまう。この空白領域を解消するため複数のイメージンセンサ100が千鳥配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査対象を照明光により照明する照明手段と、光電変換イメージセンサを有し、前記検査対象からの反射光を受光する検出器と、前記検査対象を搭載したステージまたは前記検出器の移動手段と、前記検出器で検出した画像に基づき前記検査対象を検査する検査手段とを備える検査対象の欠陥検査装置において、上記検出器は、複数の光電変換イメージセンサを有し、これら複数の光電変換イメージセンサは、千鳥配置され、千鳥配置された列が2以上配置されて格子状に配列されていることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 , H01L 21/66 , G01B 11/24

FI (4件)：

G01N21/956 A , H01L21/66 J , G01B11/24 K , G01B11/24 F

Fターム (50件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ07 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL25 , 2F065MM01 , 2F065NN03 , 2F065UU02 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051AC15 , 2G051BA05 , 2G051BA08 , 2G051BB01 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051BB20 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA05 , 2G051EA04 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106BA07 , 4M106CA16 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB08 , 4M106DJ04 , 4M106DJ06 , 4M106DJ17 , 4M106DJ23

引用特許：

出願人引用 (1件)

パターン検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-000585 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (8件)

異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-012581 出願人：株式会社堀場製作所
カラーイメージセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-017727 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特開平3-110454

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