干渉露光装置およびそれを用いた干渉露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312914
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153446
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】ウェハに接したプリズムを通して干渉露光を行う際、均一な回折格子を高コントラストで露光する。【解決手段】プリズムの第1面と、前記プリズムの第2、第3面とのなす角φ、φ’は、下記式(1)を満たしている。【数8】

請求項（抜粋）：

感光性膜が被着された基板と、前記感光性膜に接する第1面と、該第1面に隣接し、互いに対向した第2、第3面とを少なくとも有するプリズムと、を備え、前記プリズムの第2面及び第3面に同一波長を有する光線をそれぞれ照射して、前記プリズムの第1面に前記光線による干渉縞を形成し、該干渉縞のパターンを前記感光性膜に転写する干渉露光装置において、少なくとも前記プリズムの第2、及び第3面には、それぞれ反射防止膜が形成されてなることを特徴とする干渉露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01S 3/18 , G02B 5/18

FI (4件)：

H01L 21/30 528 , G03F 7/20 521 , H01S 3/18 , G02B 5/18

引用特許：

出願人引用 (8件)

干渉露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-244290 出願人：株式会社フジクラ
特開昭63-177101
特開昭61-190368

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