特許
J-GLOBAL ID：200903044057341052
レーザ照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244271
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127004
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 線状レーザビームによる非単結晶珪素膜のアニールにおいて、線状レーザビームに起因する照射跡が該珪素膜に残らないようにする。【解決手段】 レーザ光は、一体型シリンドリカルアレイレンズ401で分割され、シリンドリカルレンズ402とダブレットシリンドリカルレンズ406により照射面407にて1つの均一なレーザビームに合成される。一体型シリンドリカルアレイレンズを用いるため、これを構成するシリンドリカルレンズをより細く作ることができる。これにより、レーザ光を多数に分割することが可能となり、照射面におけるレーザビームの均一性が上がる。より均一なレーザビームでアニールされた珪素膜は、レーザ照射跡をあまり残さない。
請求項（抜粋）：
照射面において断面形状が線状となるレーザビームを照射するレーザ照射装置であって、レーザ発振器と、光学系と、少なくとも1方向に動くステージと、を有し、前記光学系は、レーザビームを、該レーザビームの進行方向に対し、直角方向に分割する役割を果たす一体型のシリンドリカルアレイレンズと、分割された前記レーザビームを照射面で1つにする役割を果たす光学系と、前記直角方向と直角でかつレーザビームの進行方向に対し直角である方向にレーザビームを分割する役割を果たす光学系と、分割された前記レーザビームを照射面で1つにする役割を果たす光学系と、を有しており、前記一体型のシリンドリカルアレイレンズを形成する1つのシリンドリカルレンズの幅と長さに関するアスペクト比が20以上であることを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (8件)：
H01L 21/268
, B23K 26/06
, C23C 14/58
, C23C 16/56
, H01L 21/20
, H01S 3/00
, H01S 3/225
, B23K101:40
H01L 21/268 J
, B23K 26/06 E
, C23C 14/58 C
, C23C 16/56
, H01L 21/20
, H01S 3/00 B
, B23K101:40
, H01S 3/223 E
