真空装置の監視装置および監視方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-303484
公開番号（公開出願番号）：特開2003-108223
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：

【要約】【課題】測長SEMは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長SEMを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。【解決手段】真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのON/OFFタイミング、Open/Closeタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う。

請求項（抜粋）：

真空系を備えた真空装置の監視装置において、画面表示装置と、前記真空系からの運転情報信号をデータ入力し、画面表示処理をして前記画面表示装置に画面表示を行う画面表示処理装置と、および前記真空系を構成する複数の構成部の基本監視データおよび運転履歴データを記憶する記憶装置とを備え、前記画面表示装置の画面に、前記複数の構成部の基本監視データと運転履歴データとを同時刻進行のタイムチャートとして比較して表示し、かつ前記タイムチャート上に真空系の複数の構成部に跨って同一時刻位置を指定する表示を行うことを特徴とする真空装置の監視装置。

IPC (4件)：

G05B 23/02 301 , G05B 23/02 , H01J 37/28 , H01L 21/027

FI (4件)：

G05B 23/02 301 W , G05B 23/02 301 Q , H01J 37/28 B , H01L 21/30 502 G

Fターム (10件)：

5C033UU03 , 5F046AA18 , 5F046GA07 , 5F046GA14 , 5H223AA01 , 5H223AA15 , 5H223BB01 , 5H223CC01 , 5H223EE06 , 5H223EE08

引用特許：

出願人引用 (10件)

特許第3126493号
記録情報表示システム及び記録情報表示方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008811 出願人：株式会社日立製作所
測定データ表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-293246 出願人：国際電気株式会社

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審査官引用 (14件)

特許第3126493号
特許第3126493号
記録情報表示システム及び記録情報表示方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-008811 出願人：株式会社日立製作所

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