特許
J-GLOBAL ID：200903044150064280

空隙および保護被覆層を備えているVCSEL

発明者：
スコット・エイ・マクヒューゴ

スコット・エイ・マクヒューゴ について


出願人/特許権者：
アジレント・テクノロジーズ・インク

アジレント・テクノロジーズ・インク について


代理人 (3件)： 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-206639
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032964
出願日： 2005年07月15日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 必要な信頼性試験に合格する性能を有するVCSELの歩留まりが向上するような構造および処理技術を提供することである。【解決手段】 第1のミラースタック210、第2のミラースタック230、および前記第1のミラースタック210と前記第2のミラースタック230との間に設けられているキャビティ層220を備えているデバイスにおいて、孔が少なくとも第1のミラースタック210を貫通して形成されており、開口140を画定するための間隙212が孔の側壁から前記第1のミラースタック210内へと延びており、少なくとも孔270の側壁に形成されている間隙212の端部が薄い保護層250によって覆われている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
孔(270)が貫通している第1のミラースタック(210)であって、該孔(270)の側壁から当該第1のミラースタック(210)内へと間隙(212)が延びている第1のミラースタック(210)と、 第2のミラースタック(230)と、 前記第1のミラースタック(210)と前記第2のミラースタック(230)との間に設けられているキャビティ層(220)と、 前記第1のミラースタック(210)内の前記孔(270)の側壁に形成されている前記間隙(212)の端部を密封する保護層(250)とを備えているデバイス。
IPC (1件)：
H01S 5/183
FI (1件)：
H01S5/183
Fターム (16件)：
5F173AC03 ,  5F173AC13 ,  5F173AC35 ,  5F173AC44 ,  5F173AC52 ,  5F173AH03 ,  5F173AH04 ,  5F173AH14 ,  5F173AH22 ,  5F173AL06 ,  5F173AL13 ,  5F173AL14 ,  5F173AP05 ,  5F173AP32 ,  5F173AP33 ,  5F173AP36
引用特許：
審査官引用 (7件)
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