特許
J-GLOBAL ID：200903044197792321
半導体研磨装置のパッドコンディショナ及びそのパッドコンディショナをモニタリングする方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-190866
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059873
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 コンディショニングヘッドに伝えられる回転動力伝達部分と空気圧伝達部分での異常有無を予め感知することができるようにする。【解決手段】 コンディショナは外観を形成するハウジングと;ハウジングの一側に設けられた回転モータによって回転する第1プーリと;ハウジングの他側に設けられて研磨パッドに対するコンディショニングを遂行するダイアモンドディスクを有したコンディショニングヘッドと;コンディショニングヘッドに回転動力を伝達するようにコンディショニングヘッドと軸結合されて第1プーリに巻かれたベルトが巻かれた第2プーリと;ハウジングの内部に設けられてコンディショニングヘッドの回転状態を感知する回転感知センサを備えている。
請求項（抜粋）：
外観を形成するハウジングと;前記ハウジングの一側に設けられて研磨パッドに対するコンディショニングを遂行する研磨ディスクを有したコンディショニングヘッドと;前記ハウジングの一側に設けられた第1プーリと、前記コンディショニングヘッドに回転動力を伝達するように前記コンディショニングヘッドと軸結合され前記ハウジングの前記他側に設けられた第2プーリと、前記第1プーリと前記第2プーリとの両方に巻かれたベルトとを具備して構成され、前記コンディショニングヘッドを駆動させる駆動力を前記コンディショニングヘッドに伝える伝達機構と;前記ハウジングに設けられ前記伝達機構の構成要素の中で少なくとも一つの構成要素が駆動される速度を感知するように動作するセンサと;を備えた半導体研磨装置のパッドコンディショナ。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, B24B 37/00
, B24B 53/02
, B24B 53/14
H01L 21/304 622 M
, B24B 37/00 A
, B24B 53/02
, B24B 53/14
3C047BB01
, 3C047BB10
, 3C047EE02
, 3C047EE11
, 3C058AA07
, 3C058AA19
, 3C058AC02
, 3C058BA04
, 3C058BA05
, 3C058BB04
, 3C058BC02
, 3C058CA01
, 3C058CB03
, 3C058DA12
