特許
J-GLOBAL ID：200903044257566377

投影対物レンズの意図された光学特性を設定する方法およびマイクロリソグラフィ投影露光装置

発明者：
グレープナー,ポール

グレープナー,ポール について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー

カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-557843
公開番号（公開出願番号）：特表2006-509357
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
本発明は、投影対物レンズ(20)の物体平面(22)内に配置されたレチクル(24)を、投影対物レンズ(20)を介して画像平面(28)内に配置された感光性表面(26)上に結像させるマイクロリソグラフィ投影露光装置(10)の一部である投影対物レンズ(20)の光学結像特性を改善する方法に関する。第1に、感光性表面(26)と、前記表面(26)に面する投影対物レンズ(20)の端面(42)との間の中間空間(40)中に浸漬液(38)を導入する。次いで、投影対物レンズ(20)の結像特性を決定する。決定された結像特性を所望の結像特性と比較する。決定された結像特性が所望の結像特性にできる限り近似するまで浸漬液(38)の温度を変更する。たとえば投影対物レンズ(20)の球面収差を補償するために使用することができる浸漬液(38)の屈折率の温度誘起変更によって投影対物レンズ(20)の結像特性に正確に影響を与えることができる。
請求項（抜粋）：
投影対物レンズ(20;120)の物体平面(22)内に配置されたレチクル(24)を、前記投影対物レンズ(20;120)を介して、前記投影対物レンズの画像平面(28)内に配置された感光性表面(26;66)上に投影するマイクロリソグラフィ投影露光装置(10;210)の一部である前記投影対物レンズ(20;120)の光学結像特性を改善する方法であって、以下のステップ、すなわち a)前記感光性表面(26;66)と、この表面(26;66)に面する前記投影対物レンズ(20;120)の端面(42)との間の中間空間(40)中に浸漬液(38)を導入するステップと、 b)前記投影対物レンズ(20;120)の結像特性を決定するステップと、 c)前記決定された結像特性を目標結像特性と比較するステップと、 d)前記決定された結像特性が前記目標結像特性にできる限り近くなるまで前記浸漬液(38)の温度を変化させるステップと を有することを特徴とする方法。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (3件)：
H01L21/30 515D ,  H01L21/30 516E ,  H01L21/30 516A
Fターム (7件)：
5F046AA28 ,  5F046BA05 ,  5F046CB27 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26 ,  5F046DB01 ,  5F046DB02
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM