特許
J-GLOBAL ID：200903044267821120
薄膜熱物性測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-128738
公開番号（公開出願番号）：特開2004-333262
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】これまで測定が困難であった基板に成膜された厚さ1マイクロメートル以下の薄膜の単位面積あたりの熱容量測定を実現する【解決手段】基板上に形成された薄膜において、薄膜の単位面積あたりの熱容量と基板の熱浸透率の比を測定し、基板の熱浸透率を既知として、薄膜の単位面積あたりの熱容量を算出する。その際、前記薄膜の単位面積あたりの熱容量と基板の熱浸透率の比は、薄膜試料表面を周波数fmodで周期加熱し、試料表面の周波数fmodの温度変化における位相成分から算出する。あるいは、周波数fmodの強度変調を施した繰り返し周波数frep (>fmod)のパルス加熱を行い、周波数fmodの温度応答の振幅と次の加熱パルスが試料に到達するまでのパルス加熱による温度上昇の比から、薄膜の単位面積あたりの熱容量と基板の熱浸透率の比を算出する。これらの測定に際しては、図1に示すようなピコ秒サーモリフレクタンス法を用いる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された薄膜において、薄膜の単位面積あたりの熱容量と基板の熱浸透率の比を測定し、基板の熱浸透率を既知として、薄膜の単位面積あたりの熱容量を算出することを特徴とする薄膜熱物性測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2G040AB05
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040BA26
, 2G040BA27
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA05
, 2G040DA13
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC02
, 2G040EC04
, 2G040HA16
