圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊藤洋二 , 三浦高広 , 水野史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-276771
公開番号（公開出願番号）：特開2006-090846
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】メタルダイアフラムで閉塞されオイルが封止されたオイル室内に圧力検出用のセンサチップを収納してなる圧力センサにおいて、センサチップにて発生した信号の信号処理を行う回路が、オイルの分極によって帯電するのを極力防止する。【解決手段】ケース10の凹部11にセンサチップ20を収納するとともにオイル51を充填し、凹部11をメタルダイアフラム44で閉塞してなる圧力センサ100において、センサチップ20からの信号を処理する回路を有する回路チップ30を、センサチップ20と凹部11の底部との間に介在した形でセンサチップ20と積層することにより、センサチップ20によって回路チップ30の表面がオイル51から保護されている。それによって、回路チップ30はオイル51との接触を回避する位置に設けられた形となっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一面に凹部(11)を有するケース(10)と、前記凹部(11)に収納された圧力検出用のセンサチップ(20)と、前記凹部(11)に充填されたオイル(51)と、前記凹部(11)を閉塞するメタルダイアフラム(44)とを備える圧力センサにおいて、前記センサチップ(20)からの信号を処理する回路チップ(30)が、前記ケース(10)のうち前記オイル(51)との接触を回避する位置に設けられており、前記センサチップ(20)と前記回路チップ(30)とは電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 19/00

FI (1件)：

G01L19/00 Z

Fターム (9件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD04 , 2F055EE11 , 2F055EE25 , 2F055FF11 , 2F055FF49 , 2F055GG22

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体圧力検出器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034359 出願人：日本電装株式会社

審査官引用 (9件)

特開平2-067938
特開平4-130670
圧力検出装置用パッケージ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-155493 出願人：京セラ株式会社

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