特許
J-GLOBAL ID：200903044851633530

マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡、及びマイクロプラズマ生成方法

発明者：
白井 肇

白井 肇 について

, 
長谷川 靖洋

長谷川 靖洋 について


出願人/特許権者：
埼玉大学長

埼玉大学長 について


代理人 (1件)： 杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-007438
公開番号（公開出願番号）：特開2004-220935
出願日： 2003年01月15日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現する。【解決手段】絶縁材料からなる支持板21に対して縦方向及び横方向に配置するとともに固定されてなり、管状構造を呈する複数の電極22の、内部空間22Aにプラズマ生成ガスを導入するとともに、電極22の先端部に設けられた開口部22Bから放出させ、高周波アンテナ23を介して高周波電力を導入することにより前記プラズマ生成ガスをプラズマ化させる。また、支持板21の、複数の電極22間に設けられた開口部25から、電極22の長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを導入し、電極22の先端部に生成されたマイクロプラズマの再結合を促進し、隣接した電極22の先端部に生成されたマイクロプラズマ同士の結合を抑制する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
絶縁材料からなる支持板と、 前記支持板に固定され、先端部においてマイクロプラズマを生成させるための複数の電極と、 前記複数の電極に対して前記マイクロプラズマ生成させるべく高周波電力を導入するための、高周波電力導入部と、 前記高周波電力を供給するための高周波電源とを具え、 前記複数の電極はそれぞれ管状構造を呈し、その内部空間に前記マイクロプラズマを生成させるためのプラズマガスを導入するとともに、前記電極の前記先端部に設けられた開口部から前記プラズマガスを放出し、前記先端部において前記マイクロプラズマを生成するように構成され、 前記支持板には、前記複数の電極間において、前記複数の電極それぞれの長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを導入するための複数の開口部を設けたことを特徴とする、マイクロプラズマ生成装置。
IPC (4件)：
H05H1/24 ,  B82B3/00 ,  C23F4/00 ,  G01B7/34
FI (4件)：
H05H1/24 ,  B82B3/00 ,  C23F4/00 A ,  G01B7/34 Z
Fターム (17件)：
2F063AA43 ,  2F063BD05 ,  2F063CA09 ,  2F063DA05 ,  2F063DD07 ,  2F063EB26 ,  2F063NA10 ,  2F063PA04 ,  4G146AA07 ,  4G146AD23 ,  4K057DA16 ,  4K057DB06 ,  4K057DD01 ,  4K057DM06 ,  4K057DM09 ,  4K057DM18 ,  4K057DM22
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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