特許
J-GLOBAL ID：200903096417684940
顕微鏡、顕微鏡用マイクロプラズマアレイ、表面観察方法、及び表面改質方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004364
公開番号（公開出願番号）：特開2004-219148
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】マイクロメータ領域以上での表面観察及び表面改質などを、簡易かつ短時間で行う。【解決手段】基板11上において複数のプローブ深針13を立設してなるマイクロプラズマアレイ10と、マイクロプラズマアレイ10の近傍にプラズマ生成ガスを導入するためのガス導入手段と、マイクロプラズマアレイ10に対して高周波を印加することにより、前記プラズマ生成ガスをプラズマ化してプラズマジェットを生成するための高周波印加手段と、マイクロプラズマアレイ10と観察すべき試料Xとの間に生成されたプラズマ誘導電流を計測するための誘導電流計測手段とから顕微鏡を構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定の基板上において複数のプローブ深針を立設してなるマイクロプラズマアレイと、
前記マイクロプラズマアレイの近傍にプラズマ生成ガスを導入するためのガス導入手段と、
前記マイクロプラズマアレイに対して高周波を印加することにより、前記プラズマ生成ガスをプラズマ化してプラズマジェットを生成するための高周波印加手段と、
前記マイクロプラズマアレイと観察すべき試料との間に生成されたプラズマ誘導電流を計測するための誘導電流計測手段と、
を具えることを特徴とする、顕微鏡。
IPC (4件)：
G01B7/28
, H01L21/66
, H05H1/00
, H05H1/24
G01B7/28 A
, H01L21/66 J
, H05H1/00 A
, H05H1/24
2F063AA43
, 2F063BA30
, 2F063BB02
, 2F063BD05
, 2F063BD06
, 2F063CA11
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063EB23
, 2F063EB27
, 2F063FA06
, 2F063NA06
, 2F063PA06
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA20
, 4M106CA38
, 4M106DB30
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)
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