両面粘着シート及び研磨布積層体

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森田憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286784
公開番号（公開出願番号）：特開2005-054072
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】動的圧縮貯蔵弾性率に著しい変化を発生せず、研磨前に研磨布積層体を研磨スラリーに長時間浸漬する必要もなく、研磨中に研磨スラリーによる膨潤変形を生じることのない研磨布積層体を形成可能な両面粘着シート、及び研磨布積層体を提供する。【解決手段】両面粘着シート10は、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が100μm以内であり、周波数範囲0.1Hz〜10Hz及び温度範囲30°C〜80°Cでの測定条件における動的圧縮貯蔵弾性率が5×105Pa〜1×107Paであり、前記測定条件における動的圧縮損失弾性率を同一測定条件における動的圧縮貯蔵弾性率で除算した損失係数に変曲点を有しない。研磨布積層体は、前記の両面粘着シート又はその粘着剤層のいずれか一方に積層されている粘着剤層を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が100μm以内であり、周波数範囲0.1Hz〜10Hz及び温度範囲30°C〜80°Cでの測定条件における動的圧縮貯蔵弾性率が5×105Pa〜1×107Paであり、前記測定条件における動的圧縮損失弾性率を同一測定条件における動的圧縮貯蔵弾性率で除算した損失係数に変曲点を有しないことを特徴とする、両面粘着シート。

IPC (3件)：

C09J7/02 , B24B37/00 , H01L21/304

FI (3件)：

C09J7/02 Z , B24B37/00 C , H01L21/304 622F

Fターム (14件)：

3C058AA07 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA13 , 3C058DA17 , 4J004AA05 , 4J004AA10 , 4J004AA14 , 4J004AB01 , 4J004CA06 , 4J004CB04 , 4J004CC02 , 4J004EA05 , 4J004FA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-328543 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (5件)

研磨布固定用両面粘着テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-312658 出願人：積水化学工業株式会社
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-393215 出願人：東洋紡績株式会社, 東洋ゴム工業株式会社
研磨材固定用両面粘着テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-358308 出願人：積水化学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る