X線検査装置およびX線検査装置を用いたX線検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-067043
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224606
出願日： 2007年03月15日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】ターゲット面を効率よく使用できるX線検査装置を提供する。【解決手段】X線検査装置100は、センサベース22を回転させることで各X線センサ23の位置を変更し、位置を変更した後の各X線センサ23にX線が入射するように、改めてX線焦点位置となるX線の放射の起点位置を設定する。走査型X線源10は、電子ビームを偏向させることにより、電子ビームがX線源のターゲットに衝突する位置を任意の場所に容易に変更することができる。これにより、ターゲットへの累積照射時間に応じて容易に電子ビームの照射位置を移動させることができる。従って、X線検査を中断させることなくターゲットのメンテナンスを行なうことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の位置のうちから指定された位置に設定され、入射されるX線の強度分布を検出するための検出面と、ターゲット面におけるX線焦点位置を移動させて前記X線を発生させることが可能なX線源と、前記ターゲット面の位置について前記X線焦点位置としてX線を発生させた履歴情報を記憶する記憶装置とを備える、X線照射によって対象物の検査部分を検査するためのX線検査装置を用いたX線検査方法であって、複数の第1の所定位置のうち指定された前記検出面の位置と、前記検査部分とに応じた前記X線焦点位置を設定するステップと、前記記憶装置の前記履歴情報に基づき、設定された前記X線焦点位置から発生させたX線量が所定量を超えたことを検知するステップと、前記検知結果に応じて、前記複数の第1の所定位置とは異なる、複数の第2の所定位置のうちのいずれかに前記検出面の指定位置を変更して設定するステップと、変更された前記検出面に応じて再設定された位置に、前記X線焦点位置を移動させて、前記X線を発生させるステップと、前記検出面において、前記検査部分を透過した前記X線の強度分布を検出するステップとを備える、X線検査方法。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (9件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

X線断層面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-140328 出願人：株式会社島津製作所

審査官引用 (10件)

X線検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-169866 出願人：浜松ホトニクス株式会社
透過X線による断層像検出方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-053488 出願人：株式会社日立製作所
断層撮影装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-167092 出願人：株式会社島津製作所

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