X線検査装置、X線検査方法およびX線検査プログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：横井俊之 , 岩上渉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-351407
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162335
出願日： 2004年12月03日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。【解決手段】 X線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたX線源から所定の立体角の範囲にX線を出力し、上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置に配設されるとともに上記検査対象品の移動平面に対して略平行の検出面でX線を検出し、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でX線を検出し、上記平行X線検出工程によって検出したX線と上記傾斜X線検出工程によって検出したX線とのいずれかまたは組み合わせに基づいて上記検査対象品の検査を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定的に配置されたX線源から所定の立体角の範囲にX線を出力するX線出力手段と、上記X線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させる平面移動手段と、上記立体角に含まれる位置に配設されるとともに上記検査対象品の移動平面に対して略平行の検出面でX線を検出する平行X線検出手段と、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でX線を検出する傾斜X線検出手段と、上記平行X線検出手段によって検出したX線と上記傾斜X線検出手段によって検出したX線とのいずれかまたは組み合わせに基づいて上記検査対象品の検査を行う対象品検査手段とを備えることを特徴とするX線検査装置。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (11件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA06 , 2G001DA09 , 2G001GA13 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001JA06 , 2G001KA03 , 2G001PA12

引用特許：

出願人引用 (1件)

X線透過検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-169438 出願人：オーエヌ電子株式会社

審査官引用 (6件)

X線システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-290200 出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド
X線異物位置検出装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-134518 出願人：松下電器産業株式会社
X線透過検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-169438 出願人：オーエヌ電子株式会社

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