特許
J-GLOBAL ID:200903045614366230
複合微細構造体およびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
植木 久一
, 菅河 忠志
, 二口 治
, 伊藤 浩彰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-075356
公開番号(公開出願番号):特開2008-230925
出願日: 2007年03月22日
公開日(公表日): 2008年10月02日
要約:
【課題】略同一粒径の金属化合物微粒子が、マトリックスである異種金属化合物相の中に規則的に配列充填された三次元構造を有する複合微細構造体を、簡単に製造することのできる方法を見出して、フォトニック結晶や様々な用途への適用が可能な複合微細構造体を提供すること。【解決手段】本発明の複合微細構造体は、第1の金属元素と16族元素から選択される1の非金属元素との化合物層の内部に、この第1の金属元素とは異なる第2の金属元素と前記16族非金属元素との化合物からなる略同一粒径の微粒子が最密充填されている。また、本発明の製造方法は、基板上に、略同一粒径の有機高分子微粒子を最密充填構造を採るように並べてテンプレートを形成し、LPD法により、前記テンプレートに第1の金属化合物を析出させ、有機高分子微粒子を除去し、再びLPD法により、有機高分子微粒子を除去した後の多数の空孔内に第2の金属化合物を析出させる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1の金属元素と16族元素から選択される1の非金属元素との化合物層の内部に、この第1の金属元素とは異なる第2の金属元素と前記16族非金属元素との化合物からなる略同一粒径の微粒子が最密充填されていることを特徴とする複合微細構造体。
IPC (3件):
C01G 23/00
, B82B 1/00
, B82B 3/00
FI (4件):
C01G23/00 C
, B82B1/00
, B82B3/00
, C01G23/00 D
Fターム (6件):
4G047CA03
, 4G047CA05
, 4G047CB05
, 4G047CB08
, 4G047CC03
, 4G047CD03
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (14件)
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引用文献:
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