特許
J-GLOBAL ID：200903045699600821
撥水性部材とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-102540
公開番号（公開出願番号）：特開平11-290767
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】 簡単に水滴の付着を防止できる撥水性部材及びこれに適した製造方法の提供。【解決手段】 真空中で直流高電圧を印加して発生させたグロー放電を利用するプラズマ重合により正の電極側で得られるフッ化ビニリデンポリマーからなる撥水性の膜を被処理部材の表面に有する。真空下、真空処理室内にフッ化ビニリデンのモノマーガスを存在させ、該真空処理室内に用意した被処理部材の表面直上に設けた網状電極に正の直流高電圧を印加してグロー放電を発生させることによりプラズマ重合させ、又は被処理部材自体に直接又は該被処理部材を保持する電極に正の直流高電圧を印加してグロー放電を発生させることによりプラズマ重合させ、該被処理部材の表面に撥水性のプラズマ重合膜を成膜する。
請求項（抜粋）：
真空下、真空処理室内に原料ガスとしてフッ化ビニリデンのモノマーガスを存在させ、該真空処理室内に用意した被処理部材の表面直上に設けた網状電極に正の直流高電圧を印加してグロー放電を発生させることによりプラズマ重合させ、該被処理部材の表面に撥水性のプラズマ重合膜を成膜して撥水性部材を得ることを特徴とする撥水性部材の製造方法。
IPC (4件)：
B05D 3/04
, C08F 2/52
, C08F114/22
, C23C 16/00
B05D 3/04 C
, C08F 2/52
, C08F114/22
, C23C 16/00
審査官引用 (13件)
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特開昭58-162901
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特開昭61-239083
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半導体装置の製造法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-105202
出願人：株式会社高純度化学研究所
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