特許
J-GLOBAL ID：200903045970489591

バブラー

発明者：
マイケル・エル・ティモンズ

マイケル・エル・ティモンズ について

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リチャード・ジェー・コルビー

リチャード・ジェー・コルビー について

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ロバート・ステニック

ロバート・ステニック について


出願人/特許権者：
シップレーカンパニー エル エル シー

シップレーカンパニー エル エル シー について


代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-162191
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083777
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 化学蒸着系の固体有機金属供給源物質を用いる2つのチャンバーを有するバブラーデザイン、およびこのような系中に送達するためのソース材料で飽和したキャリアガスの輸送法を開示する。【解決手段】 細長い円筒形部分、トップクロージャー部分15、ボトムクロージャー部分16、およびインレットチャンバ25、アウトレットチャンバ30を有し、該トップクロージャー部分がフィルプラグとガスインレット開口部19を有し、フィルプラグとガスインレット開口部19はインレットチャンバ25と連通し、アウトレット開口部20はアウトレットチャンバ30と連通し、インレットチャンバーは多孔質要素14を含む円錐形底部21を有し、多孔質要素がボトムクロージャー部分から間隔をおいて配置されている容器を含む、気化した有機金属化合物を化学蒸着系に提供する装置。
請求項（抜粋）：
円筒形部分の長さ方向において実質的に一定の断面を画定する内部表面を有する細長い円筒形部分、トップクロージャー部分、ボトムクロージャー部分、および流体と連通し多孔質要素により分離されているインレットおよびアウトレットチャンバーを有し、該トップクロージャー部分がフィルプラグとガスインレット開口部を有し、フィルプラグとインレット開口部はインレットチャンバーと連通し、アウトレット開口部はアウトレットチャンバーと連通し、インレットチャンバーは多孔質要素を含む円錐形底部を有し、多孔質要素がボトムクロージャー部分から間隔をおいて配置されている容器を含む、気化した有機金属化合物を化学蒸着系に提供する装置。
IPC (4件)：
H01L 21/205 ,  B01J 4/00 102 ,  B01J 7/02 ,  C23C 16/448
FI (4件)：
H01L 21/205 ,  B01J 4/00 102 ,  B01J 7/02 A ,  C23C 16/448
Fターム (28件)：
4G068AA01 ,  4G068AB02 ,  4G068AC04 ,  4G068AD16 ,  4G068AD38 ,  4G068AF31 ,  4G068DB03 ,  4G068DC04 ,  4G068DD15 ,  4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA02 ,  4K030BA08 ,  4K030BA11 ,  4K030BA15 ,  4K030CA04 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030JA10 ,  4K030LA14 ,  4K030LA15 ,  5F045AA04 ,  5F045AC08 ,  5F045AC09 ,  5F045AC19 ,  5F045EE03
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特開平2-172889
  • 有機金属気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-020566   出願人：ソニー株式会社
  • 有機金属気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-224013   出願人：ソニー株式会社
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審査官引用 (6件)
  • 特開平2-172889
  • 有機金属気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-020566   出願人：ソニー株式会社
  • 有機金属気相成長装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-224013   出願人：ソニー株式会社
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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