光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法とその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-198784
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143332
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】クリーン度管理がし易く、異物付着が低減できる光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法及び装置を提供する。【解決手段】ネガタイプフォトレジストを塗布した基板を回転させ、表面露光、加熱処理、ドライプロセスによる現像及びエッチング及びレジスト除去を連続して行い、基板表面に信号突起を形成し、スタンパーサイズに加工する。

請求項（抜粋）：

ネガタイプのフォトレジストのレジスト層を形成した基板を回転させ回転する上記基板の表面に、信号変調され記録レンズによって絞られたレーザビームを露光して露光部と未露光部とを形成し、その後、加熱処理、ドライプロセスによる現像、ドライプロセスによるエッチング、ドライプロセスによるレジスト除去を連続して行って、上記基板の表面に信号突起を形成した後、光ディスク用成形機の金型に合うスタンパーサイズに上記基板を加工して光ディスクのスタンパーを作製することを特徴とする光ディスク用スタンパーのダイレクトドライマスタリング方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/0045

FI (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/0045 A

Fターム (14件)：

5D090AA01 , 5D090BB01 , 5D090CC01 , 5D090KK03 , 5D121AA09 , 5D121BB01 , 5D121BB21 , 5D121BB28 , 5D121BB33 , 5D121BB34 , 5D121CA01 , 5D121CA07 , 5D121GG04 , 5D121GG07

引用特許：

審査官引用 (11件)

プラスチック成形用鋳型の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-211217 出願人：株式会社ニコン
スタンパの作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-194678 出願人：ソニー株式会社
特開平2-204023

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