特許
J-GLOBAL ID：200903046278119926

バンプ高さ測定装置

発明者：
黒田 寿仁

黒田 寿仁 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165079
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345337
出願日： 2000年06月01日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】 バンプ高さ測定装置を迅速かつ安定的にキャリブレーションすること。【解決手段】 バンプ高さ測定装置10において、バンプ高さの測定値をキャリブレーションするキャリブレーション装置50を有してなるもの。
請求項（抜粋）：
突起状のバンプをもつワークを保持する保持部と、該保持部に保持された上記ワークの上記バンプを含む領域に対して所定の仰角で、かつ、相対する二方向から光を照明し、上記バンプの影を上記ワーク上に投影する照明部と、該照明部により照明されている上記ワーク上の上記領域を撮像して上記バンプの影を有する画像信号を出力する撮像部と、該撮像部により得られた上記画像信号から上記バンプの影のみが抽出された二値化影画像信号を出力する影抽出部と、該影抽出部により抽出された上記二値化影画像信号から上記バンプの二方向の影の先端間の長さを求め、得られた影の長さと上記仰角から上記バンプの高さを求める影長さ演算部とを備えてなるバンプ高さ測定装置において、前記バンプ高さの測定値をキャリブレーションするキャリブレーション装置を有してなることを特徴とするバンプ高さ測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/60 ,  G01B 11/02 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01B 11/02 H ,  H01L 21/66 P ,  H01L 21/92 604 T
Fターム (31件)：
2F065AA24 ,  2F065EE00 ,  2F065EE05 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM03 ,  2F065MM24 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS09 ,  4M106AA02 ,  4M106AD26 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ31
引用特許：
審査官引用 (5件)
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