特許
J-GLOBAL ID：200903047026098000
位置決め用マ-ク、位置決め方法および位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-173968
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112151
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】正確に読み取り可能な小さなマークを利用し、かつ、読み取り用のCCDカメラの倍率を上げずに、すなわち視野を狭めずに、容易にとらえられる位置決め用マークを提供する。【解決手段】位置決め用マーク4は、複数のマーク要素6から構成されている。マーク要素6がCCDカメラによって読み取られ、その結果得られたデータに基づいて位置決め用マーク4の基準位置となる一点10が定められる。
請求項（抜粋）：
平面上に設けられる位置決め用マークにして、CCDカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいてその基準位置となる一点を定めることが可能な位置決め用マークにおいて、複数のマーク要素から構成されていることを特徴とする位置決め用マーク。
IPC (3件)：
G03F 9/00
, G01B 11/00
, G06T 7/00
G03F 9/00 Z
, G01B 11/00 A
, G06F 15/62 405 C
