特許
J-GLOBAL ID:200903047197118913
光検出素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-267891
公開番号(公開出願番号):特開2007-081185
出願日: 2005年09月15日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】 微弱光についても高精度に検出することができ、2次元アレイ化にも対応可能な、高感度な光検出素子を提供する。【解決手段】 光検出素子1は、光を吸収して光電子を発生する光電子発生体10と、光電子発生体10で発生した光電子の量に応じた電流が流れるトランジスタ30とを備えた光検出素子であり、トランジスタ30は、光電子発生体10の表面に絶縁体20を介して形成されたソース電極31とドレイン電極32とを有し、ソース電極31とドレイン電極32とが、導電性又は半導電性のナノチューブを含むチャネル部33を介して接続されたものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光を吸収して光電子を発生する光電子発生体と、該光電子発生体で発生した前記光電子の量に応じた電流が流れるトランジスタとを備えた光検出素子において、
前記トランジスタは、前記光電子発生体の表面に絶縁体を介して形成されたソース電極とドレイン電極とを有し、該ソース電極と該ドレイン電極とが、導電性又は半導電性のナノチューブを含むチャネル部を介して接続されたものであることを特徴とする光検出素子。
IPC (4件):
H01L 31/10
, H01L 27/146
, H01L 29/786
, B82B 1/00
FI (6件):
H01L31/10 E
, H01L27/14 A
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 617J
, H01L29/78 622
, B82B1/00
Fターム (64件):
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA07
, 4M118CA09
, 4M118CB01
, 4M118CB02
, 4M118CB03
, 4M118CB05
, 4M118CB09
, 4M118FA06
, 4M118FA42
, 5F049MA14
, 5F049MB03
, 5F049MB07
, 5F049MB12
, 5F049NA01
, 5F049NA04
, 5F049NB01
, 5F049NB03
, 5F049NB07
, 5F049PA04
, 5F049PA06
, 5F049QA10
, 5F049QA16
, 5F049SE12
, 5F049SS03
, 5F049SS04
, 5F049SZ20
, 5F110AA30
, 5F110BB10
, 5F110CC03
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE04
, 5F110EE08
, 5F110EE15
, 5F110EE42
, 5F110EE44
, 5F110EE45
, 5F110EE50
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF03
, 5F110FF04
, 5F110FF28
, 5F110FF29
, 5F110GG01
, 5F110GG02
, 5F110GG22
, 5F110GG25
, 5F110GG30
, 5F110GG42
, 5F110GG58
, 5F110HK02
, 5F110HK04
, 5F110HK08
, 5F110HK21
, 5F110HK22
引用特許:
出願人引用 (4件)
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フォトトランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-250986
出願人:松下電器産業株式会社
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フォトトランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-045050
出願人:シャープ株式会社
-
フォトトランジスタ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-164229
出願人:日本電信電話株式会社
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光検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-181246
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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審査官引用 (4件)