特許
J-GLOBAL ID：200903047247810244
プローブ顕微鏡及び物性測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
植木 久一
, 菅河 忠志
, 二口 治
, 伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-104605
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284363
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】 測定系の特性の影響を低減すると共に測定に要する時間の短縮化が図れ、より高精度に試料の物性を測定すること。【解決手段】 試料を載置する載置面を有するステージ3と、このステージ3を支持するとともに試料表面に垂直な方向に振動自在に構成された支持手段5と、支持装置5を所定の振動用周波数及び振動用振幅で振動させる加振手段7と、支持装置5における垂直方向の移動を制御する移動制御手段6と、先端が試料表面に接触するように配置されたプローブ10と、プローブ先端が試料表面2aに接触した状態でそのプローブ10の振動状態を測定する第1の振動状態測定手段11と、加振手段7を動作させた時に、載置面3aの振動状態を測定する第2の振動状態測定手段13と、第2の振動状態測定手段13によって測定した振動状態の波形と、第1の振動状態測定手段11によって測定した振動状態の波形とを比較することで試料の物性を測定する測定処理手段12とを備えてなるプローブ顕微鏡を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料を載置する載置面を有するステージと、
前記ステージに載置された試料をその表面と直交する方向に振動させるべく、前記ステージを支持するとともに垂直方向に振動自在に構成された支持手段と、
前記支持手段を所定の振動用周波数及び振動用振幅で振動させる加振手段と、
前記支持手段における垂直方向の移動を制御する移動制御手段と、
先端が前記試料表面に接触するように配置されたプローブと、
プローブ先端が前記試料表面に接触した状態でそのプローブの振動状態を測定する第1の振動状態測定手段と、
前記加振手段を動作させた時に、前記載置面の振動状態を測定する第2の振動状態測定手段と、
前記第2の振動状態測定手段によって測定した振動状態の波形と、前記第1の振動状態測定手段によって測定した振動状態の波形とを比較することで前記試料の物性を測定する測定処理手段とを備えてなることを特徴とするプローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2F069AA60
, 2F069GG01
, 2F069HH30
, 2F069MM02
, 2F069MM23
, 2F069MM34
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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