特許
J-GLOBAL ID：200903047389127312
原子間力顕微鏡を用いた微細加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-319361
公開番号（公開出願番号）：特開2005-081527
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置の加工品質や加工精度を向上させる。【解決手段】 集束イオンビーム装置を原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置内に組み込み、集束イオンビーム8のエッチングまたはデポジションの微細加工能力を用いて、加工用の原子間力顕微鏡探針11の加工や付着物の除去、ドリフト用のマーカの形成、垂直断面加工、加工個所の罫書き線作製、加工始点での応力集中回避のための溝掘りを行って、原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置単体で持っていた欠点を補い、加工品質や加工精度を向上させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡の探針を用いた加工の途中で、装置内に組み込んだ集束イオンビーム装置で前記加工用の原子間力顕微鏡探針先端を観察し、該先端が丸まっている場合には探針先端に追加工を行い先鋭化し、該先鋭化した探針で加工することを特徴とする原子間力顕微鏡を用いた微細加工方法。
IPC (4件)：
B82B3/00
, G01N13/16
, H01J37/30
, H01J37/317
B82B3/00
, G01N13/16 A
, H01J37/30 Z
, H01J37/317 D
5C034DD09
, 5F004AA09
, 5F004BA11
, 5F004BB32
, 5F004EA39
